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翰語河北工程凈化公司從事凈化工程,無塵車間凈化設(shè)計施工,潔凈廠房建設(shè),無菌潔凈室實驗室,潔凈手術(shù)室,新風(fēng)系統(tǒng)工程設(shè)計服務(wù)地區(qū)涵蓋石家莊,秦皇島,承德,保定,衡水,邢臺,邯鄲,河南,山東等地.

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滄州半導(dǎo)體凈化無塵凈化車間設(shè)計裝修工程

產(chǎn)品分類: 成功案例

設(shè)計及施工內(nèi)容 該項目涉及設(shè)計施工范圍有彩鋼板隔斷裝修工程、凈化通風(fēng)風(fēng)調(diào)系統(tǒng)工程、車間排風(fēng)系統(tǒng)工程、配電系統(tǒng)工程、工藝管道工程、給排水工程 設(shè)計規(guī)范及依據(jù) 業(yè)主提供的

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產(chǎn)品詳情

                                                                                                                       
河北翰語凈化工程公司擁有專業(yè)的設(shè)計人員和經(jīng)驗豐富的施工隊伍,先后承擔(dān)過多家客戶的各類無塵車間 .凈化廠房、潔凈手術(shù)室、潔凈實驗室建設(shè),工程業(yè)績遍及全國各地,是河北省內(nèi)知名的凈化工程整體方案一體設(shè)計施工商。

 

         設(shè)計及施工內(nèi)容

  該項目涉及設(shè)計施工范圍有彩鋼板隔斷裝修工程、凈化通風(fēng)風(fēng)調(diào)系統(tǒng)工程、車間排風(fēng)系統(tǒng)工程、配電系統(tǒng)工程、工藝管道工程、給排水工程

  設(shè)計規(guī)范及依據(jù)

  業(yè)主提供的圖紙和技術(shù)文件及現(xiàn)楊勘察資料

  《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》

  《電子工業(yè)沽凈廠房設(shè)計規(guī)范》

  《沽凈廠房施工與驗收規(guī)范》

  《金屬面巖棉、礦渣巖棉夾芯板》

  《建筑設(shè)計防火規(guī)范》

  《潔凈廠房建筑構(gòu)造》

 

  潔凈室系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

  1、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;

  2、平均風(fēng)速:0.3-0.5m/s(百級);

  3、噪聲≤65dB(A);

  4、新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;

  5、照度300LX;

  6、溫度:20-26 度(車間),溫度:12-23度(測試)

  7、濕度:50-70%RH(車間),濕度40-85%RH(測試)

  8、潔凈度等級:百級-30萬級用于測試區(qū)域,千級-30萬級用于生產(chǎn)制造區(qū)域

  9、ESD也是半導(dǎo)體制造環(huán)境控制的重要內(nèi)容,靜電釋放可能對產(chǎn)品和生產(chǎn)設(shè)備造成損害,還可能引起硅片表面塵粒吸附,影響產(chǎn)品的良率。

  半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計及注意事項

  1、半導(dǎo)體凈化無塵車間內(nèi)部要確保塵埃粒子只出不進(jìn),因此潔凈車間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境。這就需要用大型鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源不絕地打入潔凈車間。

  2、為保持恒溫與恒濕,空調(diào)設(shè)備須搭配前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機加壓多久,空調(diào)就得開多久。

  3、所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動方向均由上往下為主,因此,凈化無塵車間室內(nèi)空間設(shè)計或機臺擺放應(yīng)避免突兀,使塵埃、細(xì)菌等在無塵凈化車間內(nèi)回旋停滯的機會與時間減至最低程度。

  4、半導(dǎo)體無塵車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣(98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

  在半導(dǎo)體無塵車間的建造過程中,除了廠房的主體結(jié)構(gòu)施工以及上述的重點難點外,還有潔凈建筑裝飾施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風(fēng)管、過濾器的施工安裝、高純水系統(tǒng)及其管線的安裝、高純氣體系統(tǒng)(含特種氣體供應(yīng)等)及其管線安裝、真空系統(tǒng)及其管線的安裝、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)及其管線的安裝、各種排風(fēng)和排氣系統(tǒng)及其處理設(shè)備的安裝、消防安全報警系統(tǒng)及其控制設(shè)備的安裝、變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝、照明系統(tǒng)及燈具的安裝、防微振裝置的安裝、生產(chǎn)工藝設(shè)備及其配管配線的安裝等。

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